ALD(原子層堆積)に関するウェビナー(Webセミナー)開催のお知らせ

コロナ禍において各種展示会が中止となり、対面ミーティングもなかなか出来ない状況ですが、新しい技術をご検討されるお客様のためにPICOSUN JAPANがALDに関するウェビナーを開催致します。
どうぞお気軽にご参加下さい。

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【2021年6月25日】Webセミナー『ALD(原子層堆積)はじめの一歩』
ALDについて何も分からない人のためのビギナー講座!原理・材料・装置・プロセスから必要な付帯設備関係まで、基本情報総ざらい!


開催方法: Microsoft Teamsによるオンラインセミナー(アカウントをお持ちでなくてもご利用いただけます)
受講料:無料
参画各社:PICOSUN JAPAN株式会社、株式会社ジャパンアドバンストケミカルズ、株式会社巴商会
日時:2021年6月25日(金)
所要時間:14:00~16:00(質疑応答の状況により延長する可能性があります)
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内容:
今、最先端の成膜技術として話題のALD (Atomic Layer Deposition:原子層堆積)は、PVD・CVD等の成膜技術と比較し、高アスペクト比表面への付き回りに優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、バリア性等の膜質が高く、比較的低温での成膜が可能といった特長があります。
今回、ALDに興味はあるけれど、どのように検討を始めたらいいか分からないというお客様へ、装置・原料・周辺環境といった視点から、ALD技術の概要や導入に必要な注意点などをご説明いたします。

1) PICOSUN JAPAN株式会社
・ALDの原理と特徴・長所/短所
・ALDが適した用途・アプリケーション例
・ALD装置の概要(構成・ラインナップ)、選び方 ・量産検討での試算(スループット・ランニングコスト)
2)株式会社ジャパン・アドバンスト・ケミカルズ
・ALD材料(プリカーサ)の紹介
・材料・プロセスの開発体制
・受託成膜テストと性能評価
・容器設計
3) 株式会社巴商会
・ALDプロセスに必要な付帯設備
・除害装置の概要
・安全・環境対策

詳細・お申込み:iPROSものづくり PICOSUN JAPAN Webセミナー特設ページ
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