アプリケーション例

トレンチの成膜


光学薄膜

MEMSデバイス

粉体の成膜/バッテリー


腐食防止

LED

TSV(スルーシリコンビア)

GaNパワーデバイス:

AlNパッシベーションレイヤー、Al2O3,SiO2絶縁膜

透明電極材:

Al-doped ZnO

有機デバイス、有機EL:

Al2O3, TiO2封止膜

生体適合性材料:

TiO2インプラントコーティング、ZrO2

Phonon Super Highway:

電子デバイスのヒートシンク改善、オーバーヒート防止(20℃低減の例もあります)

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