Picosun社ALD成膜装置 モデル:Rシリーズ

[R-200 エアオープンタイプ] [R-200 PEALD + 真空管搬送ロボット]

ALD成膜装置:Rシリーズ

[ロードロック/マニュアルマニピュレーター]

ALD成膜装置:Rシリーズ

[デュアルアーム真空搬送ロボット + R-200 advanced PEALD x3]

ALD成膜装置:Rシリーズ

[R-200 advanced クラスターツール]

ALD成膜装置:Rシリーズ

[グローブボックス]

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[エリプソメーター]

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[R2R]

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