Picosun社ALD成膜装置 モデル:Pシリーズ

[P300B エアオープン]

ALD成膜装置:Pシリーズ

[P300BV ロードロック/セミオートローダー(バッチ式)]

ALD成膜装置:Pシリーズ

[P1000(バッチ式)]

ALD成膜装置:Pシリーズ

[真空配送ロボット + P300S Pro(シングルウエハ)PEALD]

ALD成膜装置:Pシリーズ

[デュアルアーム真空搬送ロボット + P300F Pro(バッチ式)]

ALD成膜装置:Pシリーズ

[ProシリーズFOUP対応]

ALD成膜装置:Pシリーズ
※ProシリーズはSEMI S2「半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン」に準拠した設計です

[大型角基板用バッチ式生産装置]

ALD成膜装置:Pシリーズ

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